等离子体的发生技术主要有：直流电晕放电法、脉冲电晕放电法、介质阻挡放电、表面放电，目前常见的放电反应器电晕放电和介质阻挡放电的气体压强为105Pa，电场强度分别为5×104和102-105，等离子体的产生采用的都是高压电场放电，对于一些易燃易爆废气的处理存在危险性。
低温等离子体”是电子、化学、催化等综合作用下的电化学过程，是依靠等离子体在瞬间产生的电场能量电离、裂解气体的化学键能，从而破坏废气分子结构，达到净化目的。
低温等离子净化设备能去除挥发性物（VOC）、无机物、、氨气、硫醇类等主要污染物，以及各种恶臭味，对于长期弥漫、积累的恶臭、异味，24小时内即可祛除，并且具有杀灭空气中、病毒等各种微生物能力，而且具有明显的作用。
低温等离子净化设备不需任何添加剂，不产生废水、废渣，不会导致二次污染。